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文献
J-GLOBAL ID：202002263131067705
整理番号：20A0329817
レーザ加熱後のディスク表面から転写したペルフルオロポリエーテル潤滑剤のTOF-SIMS分析【JST・京大機械翻訳】
TOF-SIMS analysis of perfluoropolyether lubricant smear transferred from disk surface following laser heating
Tani Hiroshi
(Kansai University, Suita-shi, Osaka, Japan)
,
Shibahara Yuta
(Graduate School of Kansai University, Suita-shi, Osaka, Japan)
,
Lu Reguo
(Kansai University, Suita-shi, Osaka, Japan)
,
Koganezawa Shinji
(Kansai University, Suita-shi, Osaka, Japan)
,
Tagawa Norio
(Kansai University, Suita-shi, Osaka, Japan)
資料名：
Microsystem Technologies
(Microsystem Technologies)
巻： 26 号： 1 ページ： 79-88 発行年： 2020年
JST資料番号： W2056A ISSN： 0946-7076 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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