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文献
J-GLOBAL ID：202002263536076966
整理番号：20A0916262
高温で寿命を高めたGa_2O_3ガスセンサのための懸濁アルミナ膜【JST・京大機械翻訳】
Suspended Alumina Membrane for GA2O3 Gas Sensor with Enhanced Lifetime at High-Temperature
Jeong Han-Il
(School of Mechanical Engineering, Yonsei University,Seoul,Korea)
,
Choi Gyujun
(School of Mechanical Engineering, Yonsei University,Seoul,Korea)
,
Kim Jongbaeg
(School of Mechanical Engineering, Yonsei University,Seoul,Korea)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2020 号： MEMS ページ： 729-732 発行年： 2020年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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