文献
J-GLOBAL ID:202002263801935605
整理番号:20A0903393
低温感度を有するマイクロメカニカルシリコン共振加速度計の設計とシミュレーション【JST・京大機械翻訳】
Design and Simulation of a Micromechanical Silicon Resonant Accelerometer with Low Temperature Sensitivity
著者 (4件):
Gao Yang
(Southeast University)
,
Li Hongsheng
(Southeast University)
,
Huang Libin
(Southeast University)
,
Wang Songli
(Xi’an Flight Automatic Control Research Institute)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2018
号:
IMCCC
ページ:
162-167
発行年:
2018年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)