文献
J-GLOBAL ID:202002264187462584
整理番号:20A2474853
誘導酸素放電における電子エネルギー分布に対する電子付着と脱離反応の効果の実験的観測【JST・京大機械翻訳】
Experimental observation of the effect of electron attachment and detachment reactions on the electron energy distribution in an inductive oxygen discharge
著者 (4件):
Jung Jiwon
(Department of Electrical Engineering, Hanyang University, Seoul 04763, South Korea)
,
Lee Moo-Young
(Department of Nanoscale Semiconductor Engineering, Hanyang University, Seoul 04763, South Korea)
,
Kim Kyung-Hyun
(Department of Electrical Engineering, Hanyang University, Seoul 04763, South Korea)
,
Chung Chin-Wook
(Department of Electrical Engineering, Hanyang University, Seoul 04763, South Korea)
資料名:
Physics of Plasmas
(Physics of Plasmas)
巻:
27
号:
10
ページ:
103506-103506-8
発行年:
2020年
JST資料番号:
T0641B
ISSN:
1070-664X
CODEN:
PHPAEN
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)