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文献
J-GLOBAL ID：202002265300871344
整理番号：20A2276554
SiN微小熱量計と温度キャリブレーションの非接触精密法【JST・京大機械翻訳】
A SiN Microcalorimeter and a Non-Contact Precision Method of Temperature Calibration
Ni Sheng
(Department of Electronic and Computer Engineering, The Hong Kong University of Science and Technology, Hong Kong)
,
Zhu Hanliang
(School of Mechanical Engineering, Northwestern Polytechnical University, Xi’an, China)
,
Neuzil Pavel
(School of Mechanical Engineering, Northwestern Polytechnical University, Xi’an, China)
,
Yobas Levent
(Department of Electronic and Computer Engineering, The Hong Kong University of Science and Technology, Hong Kong)
資料名：
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 29 号： 5 ページ： 1103-1105 発行年： 2020年
JST資料番号： W0357A ISSN： 1057-7157 CODEN： JMIYET 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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