文献
J-GLOBAL ID:202002265718119224
整理番号:20A0834116
バッファとして機械的アームを用いた複合ウエハ製造装置の最適スケジューリング【JST・京大機械翻訳】
Optimal Scheduling of Combined Wafer Fabrication Equipment Taking Mechanical Arms as Buffers
著者 (4件):
Sun Junqing
(Tianjin University of Technology,Tianjin,China)
,
Wang Yilin
(Tianjin University of Technology,Tianjin,China)
,
Feng Meiling
(Tianjin University of Technology,Tianjin,China)
,
Sun Bin
(Tianjin University of Technology,Tianjin,China)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2019
号:
ICSAI
ページ:
23-27
発行年:
2019年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)