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文献
J-GLOBAL ID:202002266560260646   整理番号:20A2710132

高出力インパルスマグネトロンスパッタリングにより作製したVO_2薄膜のサーモクロミック特性に及ぼすデューティサイクルの影響【JST・京大機械翻訳】

Effect of duty cycle on the thermochromic properties of VO2 thin-film fabricated by high power impulse magnetron sputtering
著者 (4件):
Juan Pi-Chun
(Department of Materials Engineering and Center for Plasma and Thin Film Technologies, Ming Chi University of Technology, New Taipei 243, Taiwan)
Lin Kuei-Chih
(Department of Electronic Engineering, Ming Chuan University, Taoyuan 333, Taiwan)
Lin Cheng-Li
(Department of Electronic Engineering, Feng Chia University, Taichung 407, Taiwan)
Lin Wei-Fan
(Department of Materials Engineering and Center for Plasma and Thin Film Technologies, Ming Chi University of Technology, New Taipei 243, Taiwan)

資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)

巻: 38  号:ページ: 063403-063403-9  発行年: 2020年 
JST資料番号: C0789B  ISSN: 0734-2101  CODEN: JVTAD6  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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