文献
J-GLOBAL ID:202002266560260646
整理番号:20A2710132
高出力インパルスマグネトロンスパッタリングにより作製したVO_2薄膜のサーモクロミック特性に及ぼすデューティサイクルの影響【JST・京大機械翻訳】
Effect of duty cycle on the thermochromic properties of VO2 thin-film fabricated by high power impulse magnetron sputtering
著者 (4件):
Juan Pi-Chun
(Department of Materials Engineering and Center for Plasma and Thin Film Technologies, Ming Chi University of Technology, New Taipei 243, Taiwan)
,
Lin Kuei-Chih
(Department of Electronic Engineering, Ming Chuan University, Taoyuan 333, Taiwan)
,
Lin Cheng-Li
(Department of Electronic Engineering, Feng Chia University, Taichung 407, Taiwan)
,
Lin Wei-Fan
(Department of Materials Engineering and Center for Plasma and Thin Film Technologies, Ming Chi University of Technology, New Taipei 243, Taiwan)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
38
号:
6
ページ:
063403-063403-9
発行年:
2020年
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)