文献
J-GLOBAL ID:202002266834121483
整理番号:20A1230973
二つの回転電場と高分子薄膜のスパッタリングを用いた水クラスタイオンビームの質量分離
Mass Separation of Water Cluster Ion Beam Using Two Rotating Electric Fields and Sputtering of a Polymer Thin Film
著者 (4件):
Nojima Masashi
(Research Inst. for Science and Technology, Tokyo University of Science)
,
Nojima Masashi
(Faculty Science and Technology, Tokyo University of Science)
,
Mita Hiroto
(Faculty Science and Technology, Tokyo University of Science)
,
Hara Kazuki
(Faculty Science and Technology, Tokyo University of Science)
資料名:
e-Journal of Surface Science and Nanotechnology (Web)
(e-Journal of Surface Science and Nanotechnology (Web))
巻:
18
ページ:
101-105(J-STAGE)
発行年:
2020年
JST資料番号:
U0016A
ISSN:
1348-0391
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)