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文献
J-GLOBAL ID：202002267020256565
整理番号：20A0007777
アークイオンめっき法を用いたアルミニウム合金基板上に堆積した窒化クロム被覆における残留応力の測定【JST・京大機械翻訳】
Measurement of the residual stress in chromium nitride coatings deposited on an aluminum alloy substrate using arc ion plating method
Kusaka Kazuya
(Institute of Technology and Science, Tokushima University, 2-1, Minamijosanjima, Tokushima, Tokushima 7708506, Japan)
,
Shirasaka Kenta
(Graduate School of Advanced Technology and Science, Tokushima University, 2-1, Minamijosanjima, Tokushima, Tokushima 7708506, Japan)
,
Yonekura Daisuke
(Institute of Technology and Science, Tokushima University, 2-1, Minamijosanjima, Tokushima, Tokushima 7708506, Japan)
,
Tanaka Yuta
(Materials Department, Research Laboratory, IHI Corporation, 1, Shin-nakahara-cho, Isogo-ku, Yokohama, Kanagawa 235-8501, Japan)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 37 号： 6 ページ： 062916-062916-5 発行年： 2019年
JST資料番号： E0974A ISSN： 2166-2746 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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