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文献
J-GLOBAL ID:202002268303273438   整理番号:20A2549277

電子ビーム蒸着によるβ-Ga_2O_3薄膜の成長【JST・京大機械翻訳】

Growth of β-Ga2O3 thin filmsby e-beam evaporation
著者 (5件):
Kumar Saurabh
(PDPM Indian Institute of Information Technology, Design and Manufacturing Jabalpur, Airport Road, Jabalpur-482004, M. P., India)
Gurnani Anita
(Department of Physics, Central University of Rajasthan, Bandarsindri-305817, Rajasthan, India)
Kulriya P. K.
(Inter-University Accelerator Centre, Aruna Asaf Ali Marg, New Delhi-110067, India)
Ojha S.
(Inter-University Accelerator Centre, Aruna Asaf Ali Marg, New Delhi-110067, India)
Katharria Y. S.
(PDPM Indian Institute of Information Technology, Design and Manufacturing Jabalpur, Airport Road, Jabalpur-482004, M. P., India)

資料名:
AIP Conference Proceedings  (AIP Conference Proceedings)

巻: 2265  号:ページ: 030247-030247-4  発行年: 2020年 
JST資料番号: D0071C  ISSN: 0094-243X  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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