文献
J-GLOBAL ID:202002268303273438
整理番号:20A2549277
電子ビーム蒸着によるβ-Ga_2O_3薄膜の成長【JST・京大機械翻訳】
Growth of β-Ga2O3 thin filmsby e-beam evaporation
著者 (5件):
Kumar Saurabh
(PDPM Indian Institute of Information Technology, Design and Manufacturing Jabalpur, Airport Road, Jabalpur-482004, M. P., India)
,
Gurnani Anita
(Department of Physics, Central University of Rajasthan, Bandarsindri-305817, Rajasthan, India)
,
Kulriya P. K.
(Inter-University Accelerator Centre, Aruna Asaf Ali Marg, New Delhi-110067, India)
,
Ojha S.
(Inter-University Accelerator Centre, Aruna Asaf Ali Marg, New Delhi-110067, India)
,
Katharria Y. S.
(PDPM Indian Institute of Information Technology, Design and Manufacturing Jabalpur, Airport Road, Jabalpur-482004, M. P., India)
資料名:
AIP Conference Proceedings
(AIP Conference Proceedings)
巻:
2265
号:
1
ページ:
030247-030247-4
発行年:
2020年
JST資料番号:
D0071C
ISSN:
0094-243X
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)