文献
J-GLOBAL ID:202002269118925628
整理番号:20A2763977
LiNbO_3/SiO_2/Si機能基板に基づく大結合音響波共振器【JST・京大機械翻訳】
Large Coupling Acoustic Wave Resonators Based on LiNbO3/SiO2/Si Functional Substrate
著者 (3件):
Hsu Tzu-Hsuan
(Department of Power Mechanical Engineering, National Tsing Hua University, Hsinchu, Taiwan)
,
Tseng Kuan-Ju
(Department of Power Mechanical Engineering, National Tsing Hua University, Hsinchu, Taiwan)
,
Li Ming-Huang
(Department of Power Mechanical Engineering, National Tsing Hua University, Hsinchu, Taiwan)
資料名:
IEEE Electron Device Letters
(IEEE Electron Device Letters)
巻:
41
号:
12
ページ:
1825-1828
発行年:
2020年
JST資料番号:
B0344B
ISSN:
0741-3106
CODEN:
EDLEDZ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)