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文献
J-GLOBAL ID:202002269665205817   整理番号:20A2036663

チェンバ測定および発光分光法間のプロセス時間遅延の推定:APC:先進プロセス制御【JST・京大機械翻訳】

Estimation of Process Time Delay between Chamber Measurements and Optical Emission Spectroscopy : APC: Advanced Process Control
著者 (5件):
Ning Taikang
(Trinity College,Department of Engineering,Hartford,Connecticut,USA)
Huang CH
(Software and Controls Lam Research Corporation,Fremont,California,USA)
Jensen J. A.
(Software and Controls Lam Research Corporation,Fremont,California,USA)
Wong V.
(Software and Controls Lam Research Corporation,Fremont,California,USA)
Chan H.
(Software and Controls Lam Research Corporation,Fremont,California,USA)

資料名:
IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)

巻: 2020  号: ASMC  ページ: 1-5  発行年: 2020年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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