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文献
J-GLOBAL ID：202002269665205817
整理番号：20A2036663
チェンバ測定および発光分光法間のプロセス時間遅延の推定:APC:先進プロセス制御【JST・京大機械翻訳】
Estimation of Process Time Delay between Chamber Measurements and Optical Emission Spectroscopy : APC: Advanced Process Control
Ning Taikang
(Trinity College,Department of Engineering,Hartford,Connecticut,USA)
,
Huang CH
(Software and Controls Lam Research Corporation,Fremont,California,USA)
,
Jensen J. A.
(Software and Controls Lam Research Corporation,Fremont,California,USA)
,
Wong V.
(Software and Controls Lam Research Corporation,Fremont,California,USA)
,
Chan H.
(Software and Controls Lam Research Corporation,Fremont,California,USA)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2020 号： ASMC ページ： 1-5 発行年： 2020年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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