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文献
J-GLOBAL ID：202002270211690470
整理番号：20A2036640
将来のAI応用のためのBEOL欠陥性制御に関する系統的研究【JST・京大機械翻訳】
A Systematic Study on BEOL Defectivity Control for Future AI Application
Chen James H.-C.
(IBM Research, 257 Fuller Road, NFE Suite 3100, Albany,New York,USA,12203)
,
Lie Fee li
(IBM Research, 257 Fuller Road, NFE Suite 3100, Albany,New York,USA,12203)
,
DeVries Scott
(IBM Research, 257 Fuller Road, NFE Suite 3100, Albany,New York,USA,12203)
,
Boye Carol
(IBM Research, 257 Fuller Road, NFE Suite 3100, Albany,New York,USA,12203)
,
Mehta Sanjay
(IBM Research, 257 Fuller Road, NFE Suite 3100, Albany,New York,USA,12203)
,
Devarajan Thamarai S.
(IBM Research, 257 Fuller Road, NFE Suite 3100, Albany,New York,USA,12203)
,
Silvestre Mary-Claire
(IBM Research, 257 Fuller Road, NFE Suite 3100, Albany,New York,USA,12203)
,
Tseng Wei-Tsu
(IBM Research, 257 Fuller Road, NFE Suite 3100, Albany,New York,USA,12203)
,
Aminpur Massud A
(IBM Research, 257 Fuller Road, NFE Suite 3100, Albany,New York,USA,12203)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2020 号： ASMC ページ： 1-4 発行年： 2020年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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