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文献
J-GLOBAL ID：202002270742665789
整理番号：20A2233186
同軸イオン加速法を用いた物理蒸着【JST・京大機械翻訳】
Physical vapor deposition using a coaxial ion acceleration method
Kobayashi D.
(Department of Physics, College of Science and Technology, Nihon University, Tokyo 101-8308, Japan)
,
Asai T.
(Department of Physics, College of Science and Technology, Nihon University, Tokyo 101-8308, Japan)
,
Ashizawa Y.
(Department of Electronic Engineering, College of Science and Technology, Nihon University, Tokyo 101-8308, Japan)
資料名：
Review of Scientific Instruments
(Review of Scientific Instruments)
巻： 91 号： 9 ページ： 095109-095109-4 発行年： 2020年
JST資料番号： D0517A ISSN： 0034-6748 CODEN： RSINAK 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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