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J-GLOBAL ID:202002270742665789   整理番号:20A2233186

同軸イオン加速法を用いた物理蒸着【JST・京大機械翻訳】

Physical vapor deposition using a coaxial ion acceleration method
著者 (3件):
Kobayashi D.
(Department of Physics, College of Science and Technology, Nihon University, Tokyo 101-8308, Japan)
Asai T.
(Department of Physics, College of Science and Technology, Nihon University, Tokyo 101-8308, Japan)
Ashizawa Y.
(Department of Electronic Engineering, College of Science and Technology, Nihon University, Tokyo 101-8308, Japan)

資料名:
Review of Scientific Instruments  (Review of Scientific Instruments)

巻: 91  号:ページ: 095109-095109-4  発行年: 2020年 
JST資料番号: D0517A  ISSN: 0034-6748  CODEN: RSINAK  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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