文献
J-GLOBAL ID:202002272224823087
整理番号:20A0955970
ALD駆動Hf_xTi_yAl_zOナノラミネートの界面化学と電気的性能の進展に関する比較研究【JST・京大機械翻訳】
A comparative study on the evolution of the interface chemistry and electrical performance of ALD-driven HfxTiyAlzO nanolaminates
著者 (5件):
Gao Juan
(School of Mechanics and Photoelectric Physics, Anhui University of Science and Technology, Huainan 232001, China)
,
He Gang
,
Hao Lin
,
Wang Die
,
Zhao Lin
資料名:
RSC Advances (Web)
(RSC Advances (Web))
巻:
10
号:
25
ページ:
14733-14745
発行年:
2020年
JST資料番号:
U7055A
ISSN:
2046-2069
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)