文献
J-GLOBAL ID:202002272462492119
整理番号:20A0435925
三次ナノ位置決めステージの三角走査のための減衰制御器設計【JST・京大機械翻訳】
Damping Controller Design for Triangular Scanning of a Third-Order Nanopositioning Stage
著者 (5件):
Ling Jie
(National University of Singapore,Singapore,Singapore,119077)
,
Ye Tingting
(School of Power and Mechanical Engineering, Wuhan University,Wuhan,China,430072)
,
Feng Zhao
(National University of Singapore,Singapore,Singapore,119077)
,
Ming Min
(School of Power and Mechanical Engineering, Wuhan University,Wuhan,China,430072)
,
Xiao Xiaohui
(Shenzhen Institute of Wuhan University,Shenzhen,China,518057)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2019
号:
ICCAS
ページ:
412-417
発行年:
2019年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)