文献
J-GLOBAL ID:202002273586663431
整理番号:20A2293253
ナノインプリントリソグラフィーを用いたナノ構造の大量生産におけるプロセス再現性【JST・京大機械翻訳】
Process repeatability in volume manufacturing of nanostructures utilizing nanoimprint lithography
著者 (7件):
Williams Bradley R.
(MOXTEK, Inc. (United States))
,
Pierce Jim
(MOXTEK, Inc. (United States))
,
Black Kevin
(MOXTEK, Inc. (United States))
,
Black Michael
(MOXTEK, Inc. (United States))
,
Bacon-Brown Daniel
(MOXTEK, Inc. (United States))
,
Petrova Rumyana V.
(MOXTEK, Inc. (United States))
,
Farhang Arash
(MOXTEK, Inc. (United States))
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
11467
ページ:
114670D-5
発行年:
2020年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)