文献
J-GLOBAL ID:202002274340092557
整理番号:20A0270789
測定表面の保護のための高分解能MEMS触覚センサ上のパリレン-C被覆【JST・京大機械翻訳】
Parylene-C Coating on High Resolution MEMS Tactile Sensor for Protection of Measurement Surface
著者 (5件):
Sakakihara Yuki
(Kagawa University,Dept. of Intelligent Mechanical Systems Eng.,Kagawa,Japan)
,
Watatani Kazuki
(Kagawa University,Dept. of Intelligent Mechanical Systems Eng.,Kagawa,Japan)
,
Terao Kyohei
(Kagawa University,Dept. of Intelligent Mechanical Systems Eng.,Kagawa,Japan)
,
Shimokawa Fusao
(Kagawa University,Dept. of Intelligent Mechanical Systems Eng.,Kagawa,Japan)
,
Takao Hidekuni
(Kagawa University,Dept. of Intelligent Mechanical Systems Eng.,Kagawa,Japan)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2019
号:
SENSORS
ページ:
1-4
発行年:
2019年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)