文献
J-GLOBAL ID:202002275124191821
整理番号:20A0399786
多層PZT薄膜を用いた均一応力カンチレバーに基づくMEMSエネルギーハーベスティング【JST・京大機械翻訳】
MEMS Energy Harvesting Based on Uniform-Stress Cantilever with Multilayer PZT Thin Films
著者 (4件):
Hirai S.
(Graduate School of Engineering, University of Hyogo, 2167 Shosha, Himeji, Hyogo, Japan)
,
Kanda K.
(Graduate School of Engineering, University of Hyogo, 2167 Shosha, Himeji, Hyogo, Japan)
,
Fujita T.
(Graduate School of Engineering, University of Hyogo, 2167 Shosha, Himeji, Hyogo, Japan)
,
Maenaka K.
(Graduate School of Engineering, University of Hyogo, 2167 Shosha, Himeji, Hyogo, Japan)
資料名:
Journal of Physics: Conference Series
(Journal of Physics: Conference Series)
巻:
1407
号:
1
ページ:
012081 (5pp)
発行年:
2019年
JST資料番号:
W5565A
ISSN:
1742-6588
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)