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文献
J-GLOBAL ID：202002276654352028
整理番号：20A2347738
3次元ナノ構造の位相シフトマスク設計とサイズの関係【JST・京大機械翻訳】
Relationship of phase shift mask design and size of three-dimension nanostructures
Sihapitak Pongsakom
(Nara Institute of Science and Technology,Division of Science and Technology,Nara,Japan,630-0192)
,
Ishikawa Yasuaki
(College of Science and Engineering, Aoyama Gakuin University,Sagamihara,Kanagawa,Japan,252-5258)
,
Wang Xudongfang
(Nara Institute of Science and Technology,Division of Science and Technology,Nara,Japan,630-0192)
,
Uenuma Mutsunori
(Nara Institute of Science and Technology,Division of Science and Technology,Nara,Japan,630-0192)
,
Uraoka Yukiharu
(Nara Institute of Science and Technology,Division of Science and Technology,Nara,Japan,630-0192)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2020 号： AM-FPD ページ： 80-82 発行年： 2020年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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