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J-GLOBAL ID：202002276914165532 整理番号：20A0377961

低基板温度下で作製した窒素含有ダイヤモンド状炭素/タングステンと窒素含有ダイヤモンド状炭素/炭化タングステン多層膜の電気抵抗率と機械的性質【JST・京大機械翻訳】

Electrical resistivity and mechanical properties of nitrogen-containing diamondlike carbon/tungsten and nitrogen-containing diamondlike carbon/tungsten carbide multilayer films prepared under low substrate temperature

著者 (12件)：

Tamekuni Koki

(Department of Electrical and Electronic Information Engineering, Toyohashi University of Technology, 1-1 Hibarigaoka, Tempaku, Toyohashi, Aichi 4418580, Japan)

Harigai Toru

(Department of Electrical and Electronic Information Engineering, Toyohashi University of Technology, 1-1 Hibarigaoka, Tempaku, Toyohashi, Aichi 4418580, Japan)

Toya Takafumi

(Department of Electrical and Electronic Information Engineering, Toyohashi University of Technology, 1-1 Hibarigaoka, Tempaku, Toyohashi, Aichi 4418580, Japan)

Takikawa Hirofumi

(Department of Electrical and Electronic Information Engineering, Toyohashi University of Technology, 1-1 Hibarigaoka, Tempaku, Toyohashi, Aichi 4418580, Japan)

Tanimoto Tsuyoshi

(National Institute of Technology, Kochi College, 200-1 Monobe, Nankoku, Kochi 7838508, Japan)

Takago Shigeki

(Industrial Research Institute of Ishikawa, 2-1 Shunsuki, Kanazawa, Ishikawa 9208203, Japan)

Yasui Haruyuki

(Industrial Research Institute of Ishikawa, 2-1 Shunsuki, Kanazawa, Ishikawa 9208203, Japan)

Kaneko Satoru

(Kanagawa Institute of Industrial Science and Technology, 705-1 Shimoimaizumi, Ebina, Kanagawa 2430435, Japan)

Kunitsugu Shinsuke

(Industrial Technology Center of Okayama Prefecture, 5301 Yoshiga, Kitaku, Okayama, Okayama 7011296, Japan)

Kamiya Masao

(Itoh Optical Industrial Co., Ltd., 3-19 Miyanarityo, Gamagori, Aichi 443004, Japan)

Taki Makoto

(Onward Ceramic Coating Co., Ltd., wa-13 Yoshiharatyo, Nomi, Ishikawa 9290111, Japan)

Gonda Hidenobu

(OSG Coating Service Co., Ltd., 149 Ichinomiyamae, Toyokawa, Aichi 4411231, Japan)

資料名：

Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)

巻： 38 号： 1 ページ： 011801-011801-7 発行年： 2020年
JST資料番号： E0974A ISSN： 2166-2746 CODEN： JVTBD9 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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