文献
J-GLOBAL ID:202002277115929022
整理番号:20A1236053
超臨界流体化学蒸着によるNi薄膜合成の動力学
Kinetics of Ni thin film synthesis by supercritical fluid chemical deposition
著者 (2件):
Sudiyarmanto
(Integrated Graduate School of Medicine, Engineering, and Agricultural Sciences, University of Yamanashi, Kofu 400-8511, Japan)
,
Kondoh Eiichi
(Integrated Graduate School of Medicine, Engineering, and Agricultural Sciences, University of Yamanashi, Kofu 400-8511, Japan)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻:
59
号:
SL
ページ:
SLLE02 (7pp)
発行年:
2020年07月
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
CODEN:
JJAPB6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)