文献
J-GLOBAL ID:202002277169711610
整理番号:20A2569636
小型光変調器用の酸化インジウムすず膜の特性に関する研究【JST・京大機械翻訳】
Research on the properties of indium tin oxide films for compact optical modulators
著者 (7件):
Jiang Rui
(Beijing Jiaotong Univ. (China))
,
Tian Lifei
(Institute of Semiconductors (China))
,
Liu Yang
(Institute of Semiconductors (China))
,
Kuang Yingxin
(Institute of Semiconductors (China))
,
Guan Huan
(Institute of Semiconductors (China))
,
Li Zhiyong
(Institute of Semiconductors (China))
,
Wang Zhi
(Beijing Jiaotong Univ. (China))
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
11547
ページ:
115471V-6
発行年:
2020年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)