文献
J-GLOBAL ID:202002278947878806
整理番号:20A1101693
リング形状MEMS共振器のための熱弾性散逸を用いた品質因子トリミング法【JST・京大機械翻訳】
Quality Factor Trimming Method Using Thermoelastic Dissipation for Ring-Shape MEMS Resonator
著者 (3件):
Hamza Abdelli
(Tohoku University,Department of Robotics,Sendai,Japan,980-8579)
,
Tsukamoto Takashiro
(Tohoku University,Department of Robotics,Sendai,Japan,980-8579)
,
Tanaka Shuji
(Tohoku University,Department of Robotics,Sendai,Japan,980-8579)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2020
号:
INERTIAL
ページ:
1-4
発行年:
2020年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)