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文献
J-GLOBAL ID:202002278947878806   整理番号:20A1101693

リング形状MEMS共振器のための熱弾性散逸を用いた品質因子トリミング法【JST・京大機械翻訳】

Quality Factor Trimming Method Using Thermoelastic Dissipation for Ring-Shape MEMS Resonator
著者 (3件):
Hamza Abdelli
(Tohoku University,Department of Robotics,Sendai,Japan,980-8579)
Tsukamoto Takashiro
(Tohoku University,Department of Robotics,Sendai,Japan,980-8579)
Tanaka Shuji
(Tohoku University,Department of Robotics,Sendai,Japan,980-8579)

資料名:
IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)

巻: 2020  号: INERTIAL  ページ: 1-4  発行年: 2020年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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