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文献
J-GLOBAL ID：202002279881275877
整理番号：20A0007783
100~450°Cにおける加熱後の酸素を含まないパラジウム/チタン非蒸発性ゲッターの表面分析とポンピング速度測定【JST・京大機械翻訳】
Surface analysis and pumping speed measurements of oxygen-free palladium/titanium nonevaporable getter after heating at 100-450 °C
Miyazawa Tetsuya
(Department of Materials Structure Science, SOKENDAI, 1-1 Oho, Tsukuba 305-0801, Japan)
,
Sugawara Yuta
(Department of Complexity Science and Engineering, University of Tokyo, 5-1-5 Kashiwanoha, Kashiwa 277-0882, Japan)
,
Yoshikawa Ichiro
(Department of Complexity Science and Engineering, University of Tokyo, 5-1-5 Kashiwanoha, Kashiwa 277-0882, Japan)
,
Sato Yuta
(Graduate School of Engineering Science, Yokohama National University, 79-5 Tokiwadai, Hodogaya-ku, Yokohama 240-8501, Japan)
,
Ohno Shinya
(Graduate School of Engineering Science, Yokohama National University, 79-5 Tokiwadai, Hodogaya-ku, Yokohama 240-8501, Japan)
,
Okada Tomohiro
(Graduate School of Education, Tokyo Gakugei University, 4-1-1 Nukui-kita-machi, Koganei-shi 184-8501, Japan)
,
Matsumoto Masuaki
(Graduate School of Education, Tokyo Gakugei University, 4-1-1 Nukui-kita-machi, Koganei-shi 184-8501, Japan)
,
Kikuchi Takashi
(Institute of Materials Structure Science, KEK, 1-1 Oho, Tsukuba 305-0801, Japan)
,
Mase Kazuhiko
(Department of Materials Structure Science, SOKENDAI, 1-1 Oho, Tsukuba 305-0801, Japan)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 37 号： 6 ページ： 062923-062923-6 発行年： 2019年
JST資料番号： E0974A ISSN： 2166-2746 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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