文献
J-GLOBAL ID:202002280209844575
整理番号:20A0710465
マイクロPA検出器:シリコン上に集積した中赤外光音響分光法の限界を押す【JST・京大機械翻訳】
Micro PA detector: pushing the limits of mid IR photoacoustic spectroscopy integrated on silicon
著者 (8件):
Coutard J. G.
(Univ. Grenoble Alpes, CEA-LETI (France))
,
Berthelot A.
(Univ. Grenoble Alpes, CEA-LETI (France))
,
Gliere A.
(Univ. Grenoble Alpes, CEA-LETI (France))
,
Lhermet H.
(Univ. Grenoble Alpes, CEA-LETI (France))
,
Scherer B.
(E+H Process Solutions GmbH (Germany))
,
Strahl T.
(Fraunhofer-Institut fuer Physikalische Messtechnik IPM (Germany))
,
Teulle A.
(Univ. Grenoble Alpes, CEA-LETI (France))
,
Verdot T.
(Univ. Grenoble Alpes, CEA-LETI (France))
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
11285
ページ:
1128513-9
発行年:
2020年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)