文献
J-GLOBAL ID:202002281772228817
整理番号:20A2528894
電気駆動マイクロ電気機械システムのための静電力表現の研究【JST・京大機械翻訳】
An investigation into the electrostatic force representation for electrically actuated microelectromechanical systems
著者 (4件):
Larkin K.
(Department of Mechanical and Aerospace Engineering, New Mexico State University, Las Cruces, USA)
,
Ceniceros J.
(Department of Mechanical and Aerospace Engineering, New Mexico State University, Las Cruces, USA)
,
Abdelmoula H.
(Department of Mechanical and Aerospace Engineering, New Mexico State University, Las Cruces, USA)
,
Abdelkefi A.
(Department of Mechanical and Aerospace Engineering, New Mexico State University, Las Cruces, USA)
資料名:
Microsystem Technologies
(Microsystem Technologies)
巻:
26
号:
12
ページ:
3685-3704
発行年:
2020年
JST資料番号:
W2056A
ISSN:
0946-7076
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
ドイツ (DEU)
言語:
英語 (EN)