文献
J-GLOBAL ID:202002281804728840
整理番号:20A0399778
フルオロカーボンガスで動作するMEMS発電機【JST・京大機械翻訳】
MEMS power generator operated by fluorocarbon gas
著者 (5件):
Kaneko M.
(Nihon University, 7-24-1 Narashinodai, Funabashi, Chiba, Japan)
,
Kudo K.
(Nihon University, 7-24-1 Narashinodai, Funabashi, Chiba, Japan)
,
Ebisawa K.
(Nihon University, 7-24-1 Narashinodai, Funabashi, Chiba, Japan)
,
Tanaka K.
(Nihon University, 7-24-1 Narashinodai, Funabashi, Chiba, Japan)
,
Uchikoba F.
(Nihon University, 7-24-1 Narashinodai, Funabashi, Chiba, Japan)
資料名:
Journal of Physics: Conference Series
(Journal of Physics: Conference Series)
巻:
1407
号:
1
ページ:
012073 (4pp)
発行年:
2019年
JST資料番号:
W5565A
ISSN:
1742-6588
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)