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文献
J-GLOBAL ID：202002282277408005
整理番号：20A1423611
ナノリソグラフィーとその最近の進歩【JST・京大機械翻訳】
Nanolithography and its current advancements
Sebastian Elvin Mathew
(Department of Mechanical Engineering, Maulana Azad National Institute of Technology, Bhopal 462003, India)
,
Jain Suyash Kumar
(Department of Mechanical Engineering, Maulana Azad National Institute of Technology, Bhopal 462003, India)
,
Purohit Rajesh
(Department of Mechanical Engineering, Maulana Azad National Institute of Technology, Bhopal 462003, India)
,
Dhakad S.K.
(Department of Mechanical Engineering, SATI, Vidisha, Madhya Pradesh 464001, India)
,
Rana R.S.
(Department of Mechanical Engineering, Maulana Azad National Institute of Technology, Bhopal 462003, India)
資料名：
Materials Today: Proceedings
(Materials Today: Proceedings)
巻： 26 号： P2 ページ： 2351-2356 発行年： 2020年
JST資料番号： W3531A ISSN： 2214-7853 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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