文献
J-GLOBAL ID:202002282919044683
整理番号:20A2444864
SiGeベースマイクロボロメータ集積のための層移動プロセス開発【JST・京大機械翻訳】
Layer Transfer Process Development For SiGe Based Microbolometer Integration
著者 (9件):
Kaynak Canan Baristiran
(IHP - Leibniz-Institut fuer innovative Mikroelektronik,Technology Department,Frankfurt (Oder),Germany)
,
Goeritz Alexander
(IHP - Leibniz-Institut fuer innovative Mikroelektronik,Technology Department,Frankfurt (Oder),Germany)
,
Krueger Patrick
(IHP - Leibniz-Institut fuer innovative Mikroelektronik,Technology Department,Frankfurt (Oder),Germany)
,
Voss Thomas
(IHP - Leibniz-Institut fuer innovative Mikroelektronik,Technology Department,Frankfurt (Oder),Germany)
,
Yamamoto Yuji
(IHP - Leibniz-Institut fuer innovative Mikroelektronik,Technology Department,Frankfurt (Oder),Germany)
,
Heinrich Patrick
(IHP - Leibniz-Institut fuer innovative Mikroelektronik,Technology Department,Frankfurt (Oder),Germany)
,
Saarow Ulrike
(IHP - Leibniz-Institut fuer innovative Mikroelektronik,Technology Department,Frankfurt (Oder),Germany)
,
Wietstruck Matthias
(IHP - Leibniz-Institut fuer innovative Mikroelektronik,Technology Department,Frankfurt (Oder),Germany)
,
Kaynak Mehmet
(IHP - Leibniz-Institut fuer innovative Mikroelektronik,Technology Department,Frankfurt (Oder),Germany)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2020
号:
ESTC
ページ:
1-4
発行年:
2020年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)