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文献
J-GLOBAL ID：202002284069789442
整理番号：20A0169751
時間領域テラヘルツ分光を用いた高速原子ボンバードメント処理によるGaAsエピタキシャル層表面の評価
大椋祐斗
(大阪市大 大学院)
,
竹内日出雄
(大阪市大 大学院)
,
中山正昭
(大阪市大 大学院)
,
小野田稜太
(上智大 理工)
,
中岡俊裕
(上智大 理工)
,
内海淳
(三菱重工作機械)
,
川崎繁男
(宇宙航空研究開発機構)
,
小山政俊
(阪工大 工)
資料名：
日本物理学会講演概要集(CD-ROM)
(日本物理学会春季大会講演概要集(CD-ROM))
巻： 74 号： 2 ページ： ROMBUNNO.11aK37-4 発行年： 2019年09月24日
JST資料番号： S0671C ISSN： 2189-079X 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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