文献
J-GLOBAL ID:202002285245753592
整理番号:20A2488216
EUVリソグラフィーにおける確率的サイドローブ印刷:シミュレーション研究【JST・京大機械翻訳】
Stochastic side-lobe printing in EUV lithography: a simulation study
著者 (4件):
Burov Anatoly
(KLA Texas (United States))
,
Vaglio Pret Alessandro
(KLA Corp. (United States))
,
Robertson Stewart A.
(KLA Texas (United States))
,
Lee Patrick
(KLA Texas (United States))
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
11518
ページ:
115180Y-13
発行年:
2020年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)