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文献
J-GLOBAL ID：202002286356005386
整理番号：20A2209885
直接化学蒸着によるMoS_2/SiC光検出器の容易な集積【JST・京大機械翻訳】
Facile integration of MoS2/SiC photodetector by direct chemical vapor deposition
Xiao Yifan
(State Key Laboratory of ASIC and System, School of Microelectronics, Fudan University, Shanghai 200433, China)
,
Min Long
(College of Materials Science and Engineering, Guangdong Research Center for Interfacial Engineering of Functional Materials, Shenzhen University, Shenzhen 518060, China)
,
Liu Xinke
(College of Materials Science and Engineering, Guangdong Research Center for Interfacial Engineering of Functional Materials, Shenzhen University, Shenzhen 518060, China)
,
Liu Wenjun
(State Key Laboratory of ASIC and System, School of Microelectronics, Fudan University, Shanghai 200433, China)
,
Younis Usman
(College of Materials Science and Engineering, Guangdong Research Center for Interfacial Engineering of Functional Materials, Shenzhen University, Shenzhen 518060, China)
,
Peng Tonghua
(Tankeblue Semiconductor Co. Ltd, Beijing 102600, China)
,
Kang Xuanwu
(Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China)
,
Wu Xiaohan
(State Key Laboratory of ASIC and System, School of Microelectronics, Fudan University, Shanghai 200433, China)
,
Ding Shijin
(State Key Laboratory of ASIC and System, School of Microelectronics, Fudan University, Shanghai 200433, China)
,
Zhang David Wei
(State Key Laboratory of ASIC and System, School of Microelectronics, Fudan University, Shanghai 200433, China)
資料名：
Nanophotonics (Web)
(Nanophotonics (Web))
巻： 9 号： 9 ページ： 3035-3044 発行年： 2020年
JST資料番号： U8087A ISSN： 2192-8614 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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