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文献
J-GLOBAL ID：202002286372126233
整理番号：20A2525140
EUV光源におけるレーザ生成プラズマから放出されたSnの注入に関連した集光ミラー上の保護膜の表面形態変化
Surface morphology change of protective film on collector mirror related to implantation of Sn emitted from laser produced plasma in EUV light source
Honda Yoshiyuki
(Gigaphoton Inc., Hiratsuka facility, 3-25-1 Shinomiya, Hiratsuka, Kanagawa, 254-8555 Japan)
,
Yanagida Tatsuya
(Gigaphoton Inc., Hiratsuka facility, 3-25-1 Shinomiya, Hiratsuka, Kanagawa, 254-8555 Japan)
,
Shiraishi Yutaka
(Gigaphoton Inc., Hiratsuka facility, 3-25-1 Shinomiya, Hiratsuka, Kanagawa, 254-8555 Japan)
,
Morita Masayuki
(Gigaphoton Inc., Hiratsuka facility, 3-25-1 Shinomiya, Hiratsuka, Kanagawa, 254-8555 Japan)
,
Andou Masahiko
(Gigaphoton Inc., Hiratsuka facility, 3-25-1 Shinomiya, Hiratsuka, Kanagawa, 254-8555 Japan)
,
Tomuro Hiroaki
(Gigaphoton Inc., Hiratsuka facility, 3-25-1 Shinomiya, Hiratsuka, Kanagawa, 254-8555 Japan)
,
Matsuda Akifumi
(Department of Materials Science and Engineering, Tokyo Institute of Technology, 4259 Nagatsuta, Midori, Yokohama, 226-8502 Japan)
,
Yoshimoto Mamoru
(Department of Materials Science and Engineering, Tokyo Institute of Technology, 4259 Nagatsuta, Midori, Yokohama, 226-8502 Japan)
資料名：
Applied Physics Express
(Applied Physics Express)
巻： 13 号： 11 ページ： 115501 (5pp) 発行年： 2020年11月
JST資料番号： F0599C ISSN： 1882-0778 CODEN： APEPC4 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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