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文献
J-GLOBAL ID：202002287263192313
整理番号：20A0647622
表面活性化接合のための高速原子ビームガンの開発【JST・京大機械翻訳】
Development of a fast atom beam gun for surface-activated bonding
Morisaki Ryo
(Nagoya University, Furo-cho Chikusa-ku Nagoya, 464-8601, Japan)
,
Hirai Yuuki
(Nagoya University, Furo-cho Chikusa-ku Nagoya, 464-8601, Japan)
,
Oka Chiemi
(Nagoya University, Furo-cho Chikusa-ku Nagoya, 464-8601, Japan)
,
Mizoshiri Mizue
(Nagaoka University of Technology, 1603-1 Kamitomioka Nagaoka, Niigata, 940-2188, Japan)
,
Yamazaki Takahiro
(Nagoya University, Furo-cho Chikusa-ku Nagoya, 464-8601, Japan)
,
Sakurai Junpei
(Nagoya University, Furo-cho Chikusa-ku Nagoya, 464-8601, Japan)
,
Hirai Takami
(NGK INSULATORS, LTD., 2-56 Suda-cho Mizuho-ku Nagoya, 467-8530, Japan)
,
Takahashi Tomonori
(NGK INSULATORS, LTD., 2-56 Suda-cho Mizuho-ku Nagoya, 467-8530, Japan)
,
Tsuji Hiroyuki
(NGK INSULATORS, LTD., 2-56 Suda-cho Mizuho-ku Nagoya, 467-8530, Japan)
,
Hata Seiichi
(Nagoya University, Furo-cho Chikusa-ku Nagoya, 464-8601, Japan)
資料名：
Precision Engineering
(Precision Engineering)
巻： 62 ページ： 106-112 発行年： 2020年
JST資料番号： A0734B ISSN： 0141-6359 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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