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J-GLOBAL ID：202002287853004195 整理番号：20A0254058

工作物の磁性が大面積電子ビーム照射における除去厚さおよび改質層厚さに及ぼす影響

Influence of magnetic property for workpiece on thickness of removal and modified layers in large-area EB irradiation

著者 (3件)：

酒井翼

(岡山大大学院自然科学研究科)

篠永東吾

(岡山大大学院自然科学研究科)

岡田晃

(岡山大大学院自然科学研究科)

資料名：

日本機械学会論文集(Web) (Bulletin of the JSME (Web))

巻： 85 号： 880 ページ： ROMBUNNO.19-00227(J-STAGE) 発行年： 2019年
JST資料番号： U0182B ISSN： 2187-9761 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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