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文献
J-GLOBAL ID：202002288222463123
整理番号：20A0269106
SDBGプロセスのための新しいDAF Soloマウント法【JST・京大機械翻訳】
A novel DAF Solo Mount Method for SDBG Process
Fumita Yusuke
(ILINTEC Corporation, 2-1-2 Koraku,Tokyo,Bunkyo-ku,Japan,112-0004)
,
Takyu Shinya
(ILINTEC Corporation, 2-1-2 Koraku,Tokyo,Bunkyo-ku,Japan,112-0004)
,
Uemichi Atsushi
(ILINTEC Corporation, 2-1-2 Koraku,Tokyo,Bunkyo-ku,Japan,112-0004)
,
Yomogida Kunio
(ILINTEC Corporation, 2-1-2 Koraku,Tokyo,Bunkyo-ku,Japan,112-0004)
,
Tazawa Tsuyoshi
(Hitachi Chemical Co., Ltd., 7-7 Shinkawasaki,Saiwai-ku, Kawasaki-shi,Kanagawa,Japan,212-0032)
,
Ozaki Yoshinobu
(Hitachi Chemical Co., Ltd., 7-7 Shinkawasaki,Saiwai-ku, Kawasaki-shi,Kanagawa,Japan,212-0032)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2019 号： EMPC ページ： 1-5 発行年： 2019年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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