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文献
J-GLOBAL ID：202002288430659395
整理番号：20A1020940
3D NANDのための画像計測によるOPO残差の改善【JST・京大機械翻訳】
OPO residuals improvement with imaging metrology for 3D NAND
Katz Shlomit
(KLA Corp. (Israel))
,
Golotsvan Anna
(KLA Corp. (Israel))
,
Grauer Yoav
(KLA Corp. (Israel))
,
Megged Efi
(KLA Corp. (Israel))
,
Gray Greg
(KLA Corp. (United States))
,
Leung Fiona (Shuk Fan)
(KLA Corp. (Singapore))
,
Ong Pek Beng
(KLA Corp. (Singapore))
,
Lei Shi
(KLA Corp. (China))
,
Wei Jeremy (Shi-Ming)
(KLA Corp. (China))
,
Zhou Wayne (Wei)
(KLA Corp. (China))
,
Gao Linfei
(KLA Corp. (China))
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 11325 ページ： 113252J-8 発行年： 2020年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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