文献
J-GLOBAL ID:202002289388440692
整理番号:20A1884494
傾斜マイクロマルチフィン構造を有するMEMSモールドの作製と熱インプリントプロセスによる樹脂への形状移動
Fabrication of MEMS mold with inclined micro-multi-fin structure and shape transfer to resin by thermal imprint process
著者 (5件):
Yahagi T.
(Yamagata Research Institute of Technology, 2-2-1, Matsuei, Yamagata-city, Yamagata 990-2473, Japan)
,
Yahagi T.
(Yamagata University Graduate School of Science and Engineering, 4-3-16, Jonan, Yonezawa-city, Yamagata 992-8510, Japan)
,
Murayama H.
(Yamagata Research Institute of Technology, 2-2-1, Matsuei, Yamagata-city, Yamagata 990-2473, Japan)
,
Watanabe Y.
(Yamagata Research Institute of Technology, 2-2-1, Matsuei, Yamagata-city, Yamagata 990-2473, Japan)
,
Mineta T.
(Yamagata University Graduate School of Science and Engineering, 4-3-16, Jonan, Yonezawa-city, Yamagata 992-8510, Japan)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻:
59
号:
SI
ページ:
SIIJ02 (7pp)
発行年:
2020年06月
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
CODEN:
JJAPB6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)