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文献
J-GLOBAL ID：202002289731376772
整理番号：20A0614182
ダイヤモンド(110)表面の異方性エッチングによる垂直{111}側壁を持つU字形ダイヤモンド溝の形成【JST・京大機械翻訳】
Formation of U-shaped diamond trenches with vertical {111} sidewalls by anisotropic etching of diamond (110) surfaces
Nagai M.
(Graduate School of Natural Science and Technology, Kanazawa University, Kanazawa, Ishikawa 920-1192, Japan)
,
Nakamura Y.
(Graduate School of Natural Science and Technology, Kanazawa University, Kanazawa, Ishikawa 920-1192, Japan)
,
Yamada T.
(Graduate School of Natural Science and Technology, Kanazawa University, Kanazawa, Ishikawa 920-1192, Japan)
,
Tabakoya T.
(Graduate School of Natural Science and Technology, Kanazawa University, Kanazawa, Ishikawa 920-1192, Japan)
,
Tabakoya T.
(Advanced Power Electronics Research Center, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), Tsukuba, Ibaraki 305-8568, Japan)
,
Matsumoto T.
(Graduate School of Natural Science and Technology, Kanazawa University, Kanazawa, Ishikawa 920-1192, Japan)
,
Matsumoto T.
(Nanomaterials Research Institute, Kanazawa University, Kanazawa, Ishikawa 920-1192, Japan)
,
Inokuma T.
(Graduate School of Natural Science and Technology, Kanazawa University, Kanazawa, Ishikawa 920-1192, Japan)
,
Nebel C.E.
(Nanomaterials Research Institute, Kanazawa University, Kanazawa, Ishikawa 920-1192, Japan)
,
Nebel C.E.
(Fraunhofer-Institute for Applied Solid State Physics (IAF), Tullastrasse 72, Freiburg 79108, Germany)
,
Makino T.
(Advanced Power Electronics Research Center, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), Tsukuba, Ibaraki 305-8568, Japan)
,
Yamasaki S.
(Advanced Power Electronics Research Center, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), Tsukuba, Ibaraki 305-8568, Japan)
,
Yamasaki S.
(Nanomaterials Research Institute, Kanazawa University, Kanazawa, Ishikawa 920-1192, Japan)
,
Tokuda N.
(Graduate School of Natural Science and Technology, Kanazawa University, Kanazawa, Ishikawa 920-1192, Japan)
,
Tokuda N.
(Advanced Power Electronics Research Center, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), Tsukuba, Ibaraki 305-8568, Japan)
,
Tokuda N.
(Nanomaterials Research Institute, Kanazawa University, Kanazawa, Ishikawa 920-1192, Japan)
資料名：
Diamond and Related Materials
(Diamond and Related Materials)
巻： 103 ページ： Null 発行年： 2020年
JST資料番号： W0498A ISSN： 0925-9635 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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