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文献
J-GLOBAL ID:202002291850335711   整理番号:20A2503614

モノリシック三軸MEMSジャイロスコープの機械的結合特性の解析【JST・京大機械翻訳】

Analysis of the mechanical coupling characteristics of a monolithic tri-axis MEMS gyroscope
著者 (5件):
Wang Yue
(Department of Precision Instrument, Tsinghua University, Beijing 100084, China)
Chen Zhiyong
(Department of Precision Instrument, Tsinghua University, Beijing 100084, China)
Zhou Bin
(Department of Precision Instrument, Tsinghua University, Beijing 100084, China)
Wei Qi
(Department of Precision Instrument, Tsinghua University, Beijing 100084, China)
Zhang Rong
(Department of Precision Instrument, Tsinghua University, Beijing 100084, China)

資料名:
Journal of Physics: Conference Series  (Journal of Physics: Conference Series)

巻: 1633  号:ページ: 012073 (10pp)  発行年: 2020年 
JST資料番号: W5565A  ISSN: 1742-6588  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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