文献
J-GLOBAL ID:202002291850335711
整理番号:20A2503614
モノリシック三軸MEMSジャイロスコープの機械的結合特性の解析【JST・京大機械翻訳】
Analysis of the mechanical coupling characteristics of a monolithic tri-axis MEMS gyroscope
著者 (5件):
Wang Yue
(Department of Precision Instrument, Tsinghua University, Beijing 100084, China)
,
Chen Zhiyong
(Department of Precision Instrument, Tsinghua University, Beijing 100084, China)
,
Zhou Bin
(Department of Precision Instrument, Tsinghua University, Beijing 100084, China)
,
Wei Qi
(Department of Precision Instrument, Tsinghua University, Beijing 100084, China)
,
Zhang Rong
(Department of Precision Instrument, Tsinghua University, Beijing 100084, China)
資料名:
Journal of Physics: Conference Series
(Journal of Physics: Conference Series)
巻:
1633
号:
1
ページ:
012073 (10pp)
発行年:
2020年
JST資料番号:
W5565A
ISSN:
1742-6588
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)