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文献
J-GLOBAL ID：202102212388788183
整理番号：21A0592101
マグネトロンスパッタリングによって得た窒化アルミニウム膜の表面粗さの平滑化【JST・京大機械翻訳】
Smoothing the surface roughness of aluminum nitride films obtained by magnetron sputtering
Baranova L V
(Institute of Radiophysics and Physical Electronics OSC SB RAS Omsk, Russia)
,
Baranova L V
(Dostoevsky Omsk State University, Omsk, Russia)
,
Strunin V I
(Institute of Radiophysics and Physical Electronics OSC SB RAS Omsk, Russia)
,
Strunin V I
(Dostoevsky Omsk State University, Omsk, Russia)
資料名：
Journal of Physics: Conference Series
(Journal of Physics: Conference Series)
巻： 1791 号： 1 ページ： 012034 (6pp) 発行年： 2021年
JST資料番号： W5565A ISSN： 1742-6588 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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