文献
J-GLOBAL ID:202102215730187733
整理番号:21A0150093
高分子蒸着の挿入により強化された金属ハードマスク開放プロセス窓【JST・京大機械翻訳】
Metal Hard Mask Open Process Window Enhanced by Insertion of Polymer Deposition
著者 (6件):
Sun Li Fei
(Lam Research Corporation,Shanghai,China,201210)
,
Wang Qing Peng
(Lam Research Corporation,Shanghai,China,201210)
,
Zhang Ji Hong
(Lam Research Corporation,Shanghai,China,201210)
,
Sun Lei
(Shanghai Huali Integrated Circuit Corporation (HLIC),Shanghai,China,201206)
,
Li Andrew
(Lam Research Corporation,Fremont,CA,USA,94538)
,
Chi Yu Shan
(Lam Research Corporation,Shanghai,China,201210)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2020
号:
CSTIC
ページ:
1-4
発行年:
2020年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)