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文献
J-GLOBAL ID：202102215730187733
整理番号：21A0150093
高分子蒸着の挿入により強化された金属ハードマスク開放プロセス窓【JST・京大機械翻訳】
Metal Hard Mask Open Process Window Enhanced by Insertion of Polymer Deposition
Sun Li Fei
(Lam Research Corporation,Shanghai,China,201210)
,
Wang Qing Peng
(Lam Research Corporation,Shanghai,China,201210)
,
Zhang Ji Hong
(Lam Research Corporation,Shanghai,China,201210)
,
Sun Lei
(Shanghai Huali Integrated Circuit Corporation (HLIC),Shanghai,China,201206)
,
Li Andrew
(Lam Research Corporation,Fremont,CA,USA,94538)
,
Chi Yu Shan
(Lam Research Corporation,Shanghai,China,201210)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2020 号： CSTIC ページ： 1-4 発行年： 2020年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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