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文献
J-GLOBAL ID:202102221008749361   整理番号:21A0439523

混合粉末ターゲットを用いた一段階プロセススパッタリング堆積による多元素混合物薄膜の作製【JST・京大機械翻訳】

Preparation of Multielements Mixture Thin Film by One-Step Process Sputtering Deposition Using Mixture Powder Target
著者 (5件):
Kawasaki Hiroharu
(Electrical Engineering Department, Sasebo National College of Technology, Sasebo, Japan)
Ohshima Tamiko
(Electrical Engineering Department, Sasebo National College of Technology, Sasebo, Japan)
Yagyu Yoshihito
(National Institute of Technology, Sasebo College, Sasebo, Japan)
Ihara Takeshi
(Department of Electrical and Electronic Engineering, Sasebo National College of Technology, Sasebo, Japan)
Suda Yoshiaki
(National Institute of Technology, Ishikawa College, Ishikawa, Japan)

資料名:
IEEE Transactions on Plasma Science  (IEEE Transactions on Plasma Science)

巻: 49  号:ページ: 48-52  発行年: 2021年 
JST資料番号: D0036B  ISSN: 0093-3813  CODEN: ITPSBD  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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