文献
J-GLOBAL ID:202102227767208370
整理番号:21A0256513
精密形状創成用小径イオンビーム生成技術の開発(数値シミュレーションによる永久磁石を用いた4極子磁気レンズの構造検討)
Generation of small-diameter ion beam for high-precision optical fabrication (Structural optimization of quadrupole magnetic lens using permanent magnets by numerical simulation)
著者 (3件):
瀧野日出雄
(千葉工大 工)
,
矢上裕晃
(千葉工大 大学院工学研究科)
,
国部利寿
(金属技研)
資料名:
日本機械学会論文集(Web)
(Bulletin of the JSME (Web))
巻:
86
号:
892
ページ:
ROMBUNNO.20-00217(J-STAGE)
発行年:
2020年
JST資料番号:
U0182B
ISSN:
2187-9761
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)