文献
J-GLOBAL ID:202102228353254147
整理番号:21A2610207
改良4点曲げ測定による誘電体上のCu/Ru(Zn)の接着の研究【JST・京大機械翻訳】
Study of adhesion for Cu/Ru(Zn) on dielectrics by an improved four-point bending measurement
著者 (3件):
Peng Wang
(Fudan University,State key lab of ASIC and system, School of Microelectronics,Shanghai,China,200433)
,
Qu Xin-Ping
(Fudan University,State key lab of ASIC and system, School of Microelectronics,Shanghai,China,200433)
,
Dordi Yezdi
(Lam Research Coropration,USA)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2020
号:
IITC
ページ:
115-117
発行年:
2020年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)