文献
J-GLOBAL ID:202102228763216920
整理番号:21A1288639
X線ナノリソグラフィー用の軟X線源システムにおける透過型ターゲットによるアノード膜の最適化【JST・京大機械翻訳】
Optimization of an Anode Membrane with a Transmission-Type Target in a System of Soft X-Ray Sources for X-Ray Nanolithography
著者 (5件):
Glagolev P. Yu.
(National Research University of Electronic Technologies, Moscow, Russia)
,
Demin G. D.
(National Research University of Electronic Technologies, Moscow, Russia)
,
Oreshkin G. I.
(National Research University of Electronic Technologies, Moscow, Russia)
,
Chkhalo N. I.
(Institute for Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences, Nizhny Novgorod, Russia)
,
Djuzhev N. A.
(National Research University of Electronic Technologies, Moscow, Russia)
資料名:
Technical Physics
(Technical Physics)
巻:
65
号:
11
ページ:
1709-1716
発行年:
2020年
JST資料番号:
E0952A
ISSN:
1063-7842
CODEN:
TEPHEX
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
ドイツ (DEU)
言語:
英語 (EN)