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文献
J-GLOBAL ID：202102233311887401
整理番号：21A0221933
面積選択的プロセスに向けたイソプロピルアルコール処理による銅および酸化銅表面状態の修飾【JST・京大機械翻訳】
Modification of copper and copper oxide surface states due to isopropyl alcohol treatment toward area-selective processes
Mawaki Takezo
(Graduate School of Engineering, Tohoku University, 6-6-11 Aza-Aoba, Aramaki, Aoba-ku, Sendai, 980-8579, Japan)
,
Teramoto Akinobu
(Hiroshima University, Research Institute for Nanodevice and Bio Systems, 1-4-2 Kagamiyama, Higashi-Hiroshima, Hiroshima 739-8527, Japan)
,
Ishii Katsutoshi
(Tokyo Electron Technology Solutions Ltd., 650 Mitsuzawa, Hosaka-cho, Nirasaki, Yamanashi 407-0192, Japan)
,
Shiba Yoshinobu
(New Industry Creation Hatchery Center, Tohoku University, 6-6-10 Aza-Aoba, Aramaki, Aoba-ku, Sendai 980-8579, Japan)
,
Kuroda Rihito
(Graduate School of Engineering, Tohoku University, 6-6-11 Aza-Aoba, Aramaki, Aoba-ku, Sendai, 980-8579, Japan)
,
Suwa Tomoyuki
(New Industry Creation Hatchery Center, Tohoku University, 6-6-10 Aza-Aoba, Aramaki, Aoba-ku, Sendai 980-8579, Japan)
,
Azumo Shuji
(Tokyo Electron Technology Solutions Ltd., 650 Mitsuzawa, Hosaka-cho, Nirasaki, Yamanashi 407-0192, Japan)
,
Shimizu Akira
(Tokyo Electron Technology Solutions Ltd., 650 Mitsuzawa, Hosaka-cho, Nirasaki, Yamanashi 407-0192, Japan)
,
Umezawa Kota
(Tokyo Electron Technology Solutions Ltd., 650 Mitsuzawa, Hosaka-cho, Nirasaki, Yamanashi 407-0192, Japan)
,
Shirai Yasuyuki
(New Industry Creation Hatchery Center, Tohoku University, 6-6-10 Aza-Aoba, Aramaki, Aoba-ku, Sendai 980-8579, Japan)
,
Sugawa Shigetoshi
(New Industry Creation Hatchery Center, Tohoku University, 6-6-10 Aza-Aoba, Aramaki, Aoba-ku, Sendai 980-8579, Japan)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 39 号： 1 ページ： 013403-013403-10 発行年： 2021年
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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