文献
J-GLOBAL ID:202102241856295654
整理番号:21A0984694
ダイヤモンド半導体デバイス,材料成長およびデバイス処理の最先端【JST・京大機械翻訳】
Diamond Semiconductor Devices, state-of-the-art of material growth and device processing
著者 (1件):
Umezawa H.
(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology,Ikeda,Japan)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2020
号:
IEDM
ページ:
5.6.1-5.6.4
発行年:
2020年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)