文献
J-GLOBAL ID:202102242312546240
整理番号:21A1767680
ホットスポットを意識したOPCモデリングによるパターン形成故障モードに関するより良い予測【JST・京大機械翻訳】
Better prediction on patterning failure mode with hotspot aware OPC modeling
著者 (14件):
Wei Chih-I
(Siemens Digital Industries Software (Belgium))
,
Wu Stewart
(Siemens Digital Industries Software (Belgium))
,
Deng Yunfei
(Siemens Digital Industries Software (United States))
,
Khaira Gurdaman
(Siemens Digital Industries Software (United States))
,
Kusnadi Ir
(Siemens Digital Industries Software (United States))
,
Fenger Germain
(Siemens Digital Industries Software (United States))
,
Kang Seulki
(TASMIT, Inc. (Japan))
,
Okamoto Yosuke
(TASMIT, Inc. (Japan))
,
Maruyama Kotaro
(TASMIT, Inc. (Japan))
,
Yamazaki Yuichiro
(TASMIT, Inc. (Japan))
,
Das Sayantan
(imec (Belgium))
,
Halder Sandip
(imec (Belgium))
,
Gillijns Werner
(imec (Belgium))
,
Lorusso Gian
(imec (Belgium))
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
11611
ページ:
1161112-12
発行年:
2021年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)